陜西新興熱噴涂技術(shù)有限責(zé)任公司的小編這篇和大家探討一下關(guān)于陜西冷熱噴涂技術(shù)的一些小知識(shí)，一起來(lái)看看吧。m.jasonstar.com 

說到等離子體刻蝕，它是是實(shí)現(xiàn)超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)中的微細(xì)圖形高保真地從光刻模板轉(zhuǎn)移到硅片上的不可替代的工藝。等離子刻蝕氣體在進(jìn)行晶圓刻蝕時(shí)，也會(huì)腐蝕到刻蝕腔內(nèi)的其他零部件，這就要求刻蝕腔內(nèi)的零件具有一定的耐腐蝕性，這些零件大多是鋁制品，傳統(tǒng)的辦法是對(duì)鋁制零件進(jìn)行陽(yáng)極氧化，但陽(yáng)極氧化的耐腐蝕性已經(jīng)不能滿足設(shè)備的要求，導(dǎo)致零件的更換頻率過高。.近，國(guó)內(nèi)發(fā)展為在鋁制零件表面噴涂氧化鋁涂層，雖然提高鋁制零部件的耐腐蝕性，但零件的更換頻率依然很高。

因此，為了提高鋁制零部件的使用壽命，降低零件的更換頻率，需要腐蝕性更強(qiáng)的氧化釔涂層沉積在零件表面。而氧化釔是其中關(guān)鍵的粉體材料。氧化釔的化學(xué)性質(zhì)非常穩(wěn)定，具有優(yōu)異的耐等離子蝕刻性能，氧化釔涂層對(duì)刻蝕工藝腔具有良好的保護(hù)作用。此外，氧化釔涂層還可以起到阻碳的作用，用于制備熔煉高附加值合金的石墨坩堝。